仪器名称
无掩膜曝光机
购置年份
仪器型号
SF-100 XPRESS
仪器数量
1
生产厂家
IMP公司
备 注
保管人
焦魁
联系方式
是否开放
否
仪器状态
基本参数
仪器功能
最小像素:0.25微米,最小线宽:1微米,
最大标准样品尺寸:100mmX100mmX25mm,
像素尺寸:1.25像素(4X),0.25像素(10X)