仪器名称

无掩膜曝光机

购置年份

仪器型号

SF-100 XPRESS

仪器数量

1　

生产厂家

IMP公司

备    注

保管人

焦魁

联系方式

是否开放

否

仪器状态

基本参数

仪器功能

最小像素：0.25微米，最小线宽：1微米，

最大标准样品尺寸：100mmX100mmX25mm，

像素尺寸：1.25像素（4X），0.25像素（10X）