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无掩膜曝光机
文章来源: 发布日期: 2018-04-03 浏览次数: 567

 

 

仪器名称

无掩膜曝光机

购置年份

http://skle.tju.edu.cn/displaypage/upload/IMAGE/2018/04/08/20180408210926199.jpg

 

仪器型号

SF-100 XPRESS

仪器数量

1 

生产厂家

IMP公司

   

 

保管人

焦魁

联系方式

 

是否开放

仪器状态

 

基本参数

仪器功能

最小像素:0.25微米,最小线宽:1微米,

最大标准样品尺寸:100mmX100mmX25mm

像素尺寸:1.25像素(4X),0.25像素(10X

 

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